外商投资股份有限公司发起设立的具体程序有：(1)申请设立。发起人向其政府主管部门提交设立公司的申请书、可行性研究报告、资产评估报告等。上述文件，经其主管部门审查同意后由主管部门转报省级商务部门。(2)开立帐户和认缴股款。发起人应在30日内凭商务部颁发的批准证书到银行开立专用账户。发起人应自批准证书签发之日起90日内一次缴足其认缴的公司股份。认足股款后，应由中国注册的会计师出具验资报告。(3)选举公司董事会成员和监事会成员;(4)由董事会向登记机关办理公司注册登记。工商行政管理机关自接到全部登记文件之日起30日内完成登记注册手续，并颁发营业执照。
法律依据：
《关于设立外商投资股份有限公司若干问题的暂行规定》